特許

J-GLOBAL ID：200903008832506369

薄膜形成方法

発明者： 和田 隆亜 ,  青山 和弘
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 近島 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-068248
公開番号（公開出願番号）：特開平8-258242
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：

【要約】【目的】スピン展色法において部分的な膜厚の増加や液ダレを防止する。【構成】下降位置にある展色テーブル11に、溶液供給部12より溶液を吐出する。そして、溶液供給部12を退避位置に移動した後、展色テーブル11を上昇・回転させる。この回転に伴い、展色テーブル11の表面に吐出された溶液は所定厚さまで拡げられる。次に、凸版13bを移動・回転して、展色テーブル表面の溶液を凸版側に転写させ、さらに凸版13bを移動・回転して、凸版側の溶液を被転写部材18に転写させる。ここで、展色テーブル11の回転速度Rrpm と回転時間Tsec との積は所定の条件(5000≦R×T≦30000)に設定されているため、部分的な膜厚の増加や液ダレが防止され、均一な膜厚の薄膜が形成される。

請求項（抜粋）：

回転駆動される平面部材と、該平面部材の表面に溶液を吐出する溶液吐出手段と、前記平面部材に吐出された溶液を被転写部材に転写する転写手段と、を備えた薄膜形成装置を用い、前記溶液吐出手段により前記平面部材の表面に溶液を吐出する溶液吐出工程と、前記平面部材を回転させて溶液を拡げる回転工程と、前記転写手段を駆動して前記平面部材表面に吐出された溶液を前記被転写部材に転写する転写工程と、からなる薄膜形成方法において、前記平面部材の回転速度をRrpm とし、実質回転時間をTsec とした場合に、5000≦R×T≦30000が成立する、ことを特徴とする薄膜形成方法。

IPC (4件)：

B41F 17/14 ,  B41M 1/34 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1337

FI (4件)：

B41F 17/14 E ,  B41M 1/34 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1337