特許

J-GLOBAL ID：200903008832799366

ステージ装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法

発明者： 西 健爾
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-233216
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045785
出願日： 2001年08月01日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：

【要約】【課題】 高効率なステージ駆動を実現する。【解決手段】 粗動ステージ34がリニアモータ69により加速(及び減速)されるときに、ガスフロー装置73から微動ステージ32に対して加速(減速)方向の推力を与えることで、微動ステージに作用する粗動ステージの駆動による反力を抑制する。これにより微動ステージを駆動するボイスコイルモータ71A〜71Cが従来のボイスコイルモータのような大きな推力を発生しなくても両ステージを所定の位置関係に維持することができる。すなわちボイスコイルモータは微動ステージを僅かに駆動する推力のみを発生すれば良いので、従来のボイスコイルモータ等に比べ、要求される推力は非常に小さい。従って、粗動ステージを高加速度化する場合であっても、ボイスコイルモータの小型化ひいてはステージ全体の小型、軽量化が可能で、効率的なステージ駆動が可能である。

請求項（抜粋）：

所定の移動面に沿って第1軸方向に移動可能な第1ステージと;前記第1ステージを前記第1軸方向に駆動する第1駆動装置と;前記第1ステージに一部が接続され、物体が載置される第2ステージを少なくとも前記第1軸方向に駆動する第2駆動装置と;前記第1ステージの加速時と減速時との少なくとも一方の間に、前記第2ステージに対して前記第1軸方向に沿った推力を発生する推力発生装置と;を備えることを特徴とするステージ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 518

Fターム (6件)：

5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16 ,  5F046CC19