特許
J-GLOBAL ID:200903008853681756
圧力センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大川 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-036582
公開番号(公開出願番号):特開平5-340831
出願日: 1993年02月25日
公開日(公表日): 1993年12月24日
要約:
【要約】【目的】タイヤ圧検出などにおいて考慮すべきである温度変化、高温環境及び機械振動に対する安定性に優れ、製造が簡単で製造時の特性ばらつきが小さい圧力センサを提供する。【構成】ダイヤフラム93cの両面に作用する流体の圧力差によりダイヤフラム93cが変位すると、ダイヤフラム93c上の磁性膜93dとこの磁性膜93dに近接するコイル92とのギャップ長が変化し、それによりコイル92のインダクタンスが変化する。コイル92のインダクタンスの変化すなわち圧力差は、コイル92へ交流電流を給電することによりコイル給電電流の変調成分として電気的に簡単に検出される。
請求項(抜粋):
ケースと、周辺部が前記ケースに支持されるとともに中央部の両面に作用する二流体の圧力差に応じて変位するダイヤフラムと、該ダイヤフラムの変位を電気信号に変換する変換部とを備える圧力センサにおいて、前記変換部は、前記ダイヤフラムに配設され高透磁率を有する磁性膜と、該磁性膜に所定のギャップを介して近接して前記ケースに保持され前記ダイヤフラムの変位に基づく前記ギャップの大きさに応じてインダクタンスが変化するコイルと、前記コイルに交流電流を給電して前記インダクタンスにより変調された信号成分を検出する回路部とを備えることを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件):
G01L 9/10
, G01L 17/00
, G01L 19/04
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開昭58-179384
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特開昭59-067433
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特表平2-501055
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