微細形状加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：成瀬勝夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-046351
公開番号（公開出願番号）：特開2000-246524
出願日： 1999年02月24日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：

【要約】【課題】ワークを加工する加工ヘッドとして振動子を内蔵しない汎用の加工ヘッドをそのまま使用しても、ドリル等のツールに高周波数の振動を印加することができ、装置のメインテナンスを容易に行うことが可能であると共に、ツールに印加される振動の振幅や加工力の双方を適切に調整することができ、加工中におけるツールの破損を可及的に防止することが可能な微細形状加工装置を提供する。【解決手段】支軸46を中心として揺動自在に支承されたアーム43の一端に加工ヘッド1を、他端にボールねじナット42を夫々連結し、上記ボールねじナット42が螺合するねじ軸41を回転させて加工ヘッド1をワークに対して進退させる一方、上記アーム43とボールねじナット42との間には振動子5を介装し、この振動子5で発生し高周波振動をアーム43によって加工ヘッド1に伝達するように構成した。

請求項（抜粋）：

ワークを加工するためのツールが装着される加工ヘッドと、この加工ヘッドを装置コラムに対して昇降自在に支持するヘッド移動手段と、上記装置コラムに対して加工ヘッドの昇降方向と平行に配設されるねじ軸と、このねじ軸に螺合するナット部材と、支軸を中心にして揺動自在に支承されると共に、一端が上記ヘッド移動手段に、他端が上記ナット部材に夫々連結されたアームと、上記ねじ軸を回転させて上記ナット部材を適宜昇降させ、上記加工ヘッドをワークに対して進退させるヘッド送り込みモータと、上記アームとナット部材との間に介在してこれらを互いに連結する振動子とから構成されることを特徴とする微細形状加工装置。

IPC (3件)：

B23B 37/00 , B24B 1/04 , B26D 7/08

FI (3件)：

B23B 37/00 , B24B 1/04 B , B26D 7/08 A

Fターム (6件)：

3C036AA15 , 3C049AA11 , 3C049AA16 , 3C049CA05 , 3C049CB04 , 3C049CB05

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