特許

J-GLOBAL ID：200903008858906896

電極の製造法及び電極を有する基板

発明者： 藤枝 忠恭 ,  須藤 鉄也 ,  向 郁夫
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-170299
公開番号（公開出願番号）：特開平11-015406
出願日： 1997年06月26日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】 位置精度に優れ、幅100μm以下の微細な形状の優れた電極を製造可能であり、大画面化にも充分対応できるPDP、FED等の平面型表示パネルに用いうる電極の製造法及び大画面化にも充分対応できるPDP、FED等の平面型表示パネルに用いうる、位置精度に優れ、幅100μm以下の微細な形状の優れた電極を有する基板を提供する。【解決手段】 除去可能なレリーフパターンの設けられた基板のレリーフパターンの設けられていない部分に電極材料を埋め込み、加熱した後、レリーフパターンを除去することを特徴とする電極の製造法及びこの電極の製造法により形成された電極を有する基板。

請求項（抜粋）：

除去可能なレリーフパターンの設けられた基板のレリーフパターンの設けられていない部分に電極材料を埋め込み、加熱した後、レリーフパターンを除去することを特徴とする電極の製造法。

IPC (4件)：

G09F 9/30 337 ,  H01J 9/02 ,  H01J 9/14 ,  H05K 3/00

FI (5件)：

G09F 9/30 337 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 9/02 A ,  H01J 9/14 D ,  H05K 3/00 F