ビニルフェノール共重合体の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-255811
公開番号（公開出願番号）：特開平7-233222
出願日： 1994年10月20日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】【構成】エチルフェノールの存在下にビニルフェノールをラジカル共重合することを特徴とするビニルフェノール共重合体の製造方法。【効果】本発明の製造方法で副生物が少なくかつ収率良く製造されたビニルフェノール共重合体を化学増幅型レジストの樹脂成分として用いると、該レジストは良好な微細パターンを形成すると共に優れた解像度を有する。

請求項（抜粋）：