特許

J-GLOBAL ID：200903008864259444

照明装置及びそれを用いた投影露光装置

発明者： 杉田 充朗 ,  辻 俊彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-245778
公開番号（公開出願番号）：特開平10-070070
出願日： 1996年08月28日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 斜入射照明法を利用することにより原板上のパターンを基板上に高解像力で、しかも所定の焦点深度を有しつつ投影露光することのできる照明装置及びそれを用いた投影露光装置を得ること。【解決手段】 光源101からの光束を回折光学素子を含む光束分離手段104によって5つの光束に分割し、該5つの光束をオプティカルインテグレータ105に入射させ、該オプティカルインテグレータの出射面に形成した複数の2次光源からの光束をレンズ系106によって集光して被照射面上に重ね合わせて照明する。

請求項（抜粋）：

光源からの光束を回折光学素子を含む光束分離手段によって5つの光束に分割し、該5つの光束をオプティカルインテグレータに入射させ、該オプティカルインテグレータの出射面に形成した複数の2次光源からの光束をレンズ系によって集光して被照射面上に重ね合わせて照明していることを特徴とする照明装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 527