特許
J-GLOBAL ID：200903008867708363
形状測定用プローブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
園田 敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-107578
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298013
出願日： 1999年04月15日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：
【要約】【課題】粘性流体を用いることなくばねのみの構成とした形状測定用プローブについて、そのばねの減衰性能を高め、振動が発生した際にも速やかに収束させることができ、あるいは、振動発生を防止できるばね構成を工夫すること。【解決手段】触針子と、触針子に取り付けられたばね機構と、ばねの変形量を検出するための手段を備え、触針子を被測定面に接触させた時のばねの変形量が一定になるように、触針子と被測定面との距離を制御することにより、測定圧を一定に保つ触針式形状測定機において、前記ばねの表面に、ばねとは異なる材料を付着させることにより、ばねの減衰性を高め、発生した振動の収束性を向上させ、また、傾斜面の形状を測定する際に、前記触針の走査方向を傾斜面の上り方向に限定することで振動の発生を防止し、さらに触針子と被測定面との間に潤滑剤を介在させることで、摩擦を低減し振動の発生を防止したこと。
請求項（抜粋）：
触針子と、触針子に取り付けたられたばね機構と、ばねの変形量を検出するための手段を備え、触針子を被測定面に接触させた時のばねの変形量が一定になるように、触針子と被測定面との距離を制御することにより、測定圧を一定に保つ触針式形状測定機において、前記ばねの表面に、ばねとは異なる材料を付着させたことを特徴とする触針式形状測定機。
Fターム (14件)：
2F069AA51
, 2F069AA60
, 2F069BB40
, 2F069DD09
, 2F069DD13
, 2F069GG02
, 2F069GG62
, 2F069HH01
, 2F069HH02
, 2F069JJ05
, 2F069LL03
, 2F069LL06
, 2F069MM21
, 2F069RR01
