特許

J-GLOBAL ID：200903008867722889

プラズマエッチングリアクタ内の真空シール用保護カラー

発明者： マイケル ライス ,  エリック アスカリナム
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-107550
公開番号（公開出願番号）：特開平8-227876
出願日： 1995年05月01日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】【目的】 従来技術の密封方法の短所を持たない、プラズマエッチングリアクタチャンバ内のシリコンシーリング及び石英側壁の接触面の間に用いられるシーリング組立体を提供すること。【構成】 外部環境からチャンバ内部を密封する為のプラズマエッチングリアクタは、高強度、高温および腐食抵抗性の熱可塑性材料で射出成形または機会加工される保護カラーから成り、そのカラーは内部に取り付けられるエラストマーガスケットを有し、第2のエラストマーガスケットと共に、シリコン及び石英でそれぞれ形成された2つの固定表面間の液密シールを実現する。

請求項（抜粋）：

2つの固定面(rigid surfaces)の間を密封する為に第1エラストマーガスケット(elastomeric gasket)と共にシール組立体(seal assembly)内で使用する保護カラー(protective collar) であって、前記保護カラーは腐食性環境から前記第1ガスケットを保護し、金属充填材(metal fillers) を含まず、前記第1ガスケットより前記腐食性環境に対し抵抗性のある熱可塑性材料を備える保護カラー。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 ,  B01J 3/00 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

H01L 21/302 B ,  B01J 3/00 K ,  H01L 21/205