特許
J-GLOBAL ID：200903008868219374
平面状物品の研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-098443
公開番号（公開出願番号）：特開平6-008134
出願日： 1993年04月02日
公開日（公表日）： 1994年01月18日
要約：
【要約】【目的】 研磨用スラリを寿命を伸ばして、できるだけその交換回数を少なくすることの出来る研磨機を提供すること。【構成】 本発明の平面状物品の研磨装置は、研磨用スラリ15に覆われている回転可能な研磨パッド11の第1位置に被研磨平面状物品(ウェーハ)12を搭載し、ウェーハ12を回転させて、ウェーハ12を研磨する際、研磨用スラリ15を超音波でもって前記ウェーハ12に隣接した第2位置で攪拌する攪拌器20を有し、研磨パッド11面からグリット(廃棄されるべき使用済み研磨剤)を取り除くことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
研磨用スラリ(15)に覆われている回転可能な研磨パッド(11)の第1位置に被研磨平面状物品(12 以下、ウェーハと称する)を搭載し、ウェーハ(12)を回転させて、ウェーハ(12)を研磨する装置において、研磨用スラリ(15)を超音波でもって前記ウェーハ(12)に隣接した第2位置で攪拌する攪拌器(20)を有し、研磨パッド(11)面からグリット(廃棄されるべき使用済み研磨剤)を取り除くことを特徴とする平面状物品の研磨装置。
IPC (4件)：
B24B 37/04
, B24B 1/04
, B24B 37/00
, B24B 57/02
