特許

J-GLOBAL ID：200903008898248891

ダイシング方法

発明者： 関家 一馬
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-147011
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335593
出願日： 1994年06月07日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】 ウェーハの厚さに多少のバラツキがあることに起因してブレードがX軸戻りをする際にウェーハの表面を傷付けるという問題、又は表面からの切削深さを均一に出来ないという問題を解決したダイシング方法を得る。【構成】 ウェーハをダイシングする前にオートフォーカス等でウェーハの厚さを測定し、その測定値に基づいてブレードのZ軸制御を遂行する。ウェーハのストリートを切削したブレードが次のストリートを切削するために相対的に切削起点に戻る際、ブレードによってウェーハ表面を傷付けないようにウェーハ厚さの実測値に基づいてブレードをZ軸方向に退避させる。ウェーハ厚さの実測値に基づいて、ウェーハに対するブレードの切り込み深さを制御する。

請求項（抜粋）：

ウェーハをダイシングする前にオートフォーカス等でウェーハの厚さを測定し、その測定値に基づいてブレードのZ軸制御を遂行するダイシング方法。

FI (3件)：

H01L 21/78 F ,  H01L 21/78 C ,  H01L 21/78 Q

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-152410
  
• 特開昭61-152410