特許
J-GLOBAL ID:200903008912688581

揺動装置、同装置を用いた光走査装置、映像表示装置、及び揺動装置の制御方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 板谷 康夫 ,  田口 勝美 ,  水田 愼一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-137195
公開番号(公開出願番号):特開2008-295174
出願日: 2007年05月23日
公開日(公表日): 2008年12月04日
要約:
【課題】揺動装置において、簡易な構成により可動板の揺動角や位相を容易に調整可能にする。【解決手段】揺動装置としての光走査装置10は、ミラー膜2aを有する可動板を揺動させるミラー素子1、デュティ比調整部17を有しパルス電圧のデュティ比を変更する機能を有し、ミラー素子1の垂直コムにパルス電圧を印加し駆動させる制御回路14,可動板の揺動を検出する揺動検出部19を備えている。制御回路14は、揺動検出部19により検出された可動板の揺動に基づいて、デュティ比調整部17を制御しパルス電圧のデュティ比を変更させる。デュティ比が変更されたパルス電圧がミラー素子1に印加されると、可動板の揺動時の垂直コムへの電圧印加期間が変わり、可動板の揺動の位相や揺動角が変化する。可動板の揺動に応じたデュティ比のフィードバック制御により、可動板が適正な位相や揺動角で揺動するよう制御することができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
可動板と、前記可動板を揺動自在に軸支する捻りバネと、前記捻りバネを支持するフレーム部と、前記可動板の一部及びそれに対向する前記フレーム部に互いに噛み合うように設けられた複数の櫛歯からなる垂直コムとを備えた可動構造体と、 前記垂直コムの前記可動板側の櫛歯電極と前記フレーム部側の櫛歯電極との間にパルス電圧を印加する電圧印加手段と、を備えた揺動装置において、 前記電圧印加手段は、前記垂直コムに印加されるパルス電圧のデュティ比を調整するデュティ比調整手段を備えたことを特徴とする揺動装置。
IPC (3件):
H02N 1/00 ,  G02B 26/10 ,  H04N 1/113
FI (3件):
H02N1/00 ,  G02B26/10 104Z ,  H04N1/04 104Z
Fターム (15件):
2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB23 ,  2H045AB38 ,  2H045AB44 ,  5C072AA03 ,  5C072BA20 ,  5C072DA02 ,  5C072DA04 ,  5C072HA02 ,  5C072HA14 ,  5C072HB11 ,  5C072HB13 ,  5C072WA05 ,  5C072XA10
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
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