非球面形状の計測方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-260169
公開番号（公開出願番号）：特開2000-088545
出願日： 1998年09月14日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】【目的】本発明は、測定用光の波面形状と被検非球面の形状との乖離により発生する残留収差を良好に補正し高精度な非球面形状の計測方法の提供。【構成】測定用波面形成手段によって形成される所定の計測用波面を持つ測定用光を被検非球面に照射して、該被検非球面にて反射された前記測定用光と、所定の参照用波面を有する参照用光とを互いに干渉させることによって生ずる干渉縞の状態に基づいて、前記被検非球面の形状を計測する方法において、既知の被検非球面の概略的な形状及び既知の計測用波面の形状に基づいて、前記測定用光の波面形状と前記被検非球面の形状との乖離により発生する残留収差に関する誤差データを求め、前記被検非球面にて反射された前記測定用光と、前記参照用光とにより形成される複数の縞からなる干渉縞に基づいて、前記被検非球面の形状に関する測定データを得て、その前記測定データを前記誤差データで補正する。

請求項（抜粋）：

測定用波面形成手段によって形成される所定の計測用波面を持つ測定用光を被検非球面に照射して、該被検非球面にて反射された前記測定用光と、所定の参照用波面を有する参照用光とを互いに干渉させることによって生ずる干渉縞の状態に基づいて、前記被検非球面の形状を計測する方法において、前記被検非球面の概略的な形状および前記測定用波面形成手段によって形成される前記計測用波面の形状を予め得る第1工程と、前記第1工程によって得られた前記被検非球面の概略的な形状及び前記計測用波面の形状に基づいて、前記測定用光が所定の基準位置で形成する波面形状と該基準位置に設定された前記被検非球面の形状との乖離により発生する残留収差に関する誤差データを求める第2工程と、前記測定用光を前記被検非球面に照射することにより前記被検非球面にて反射された前記測定用光と、前記参照用光とにより形成される複数の縞からなる干渉縞に基づいて、前記被検非球面の形状に関する測定データを得る第3工程と、前記第3工程で求められた前記測定データを前記第2工程で求められた誤差データで補正する第4工程とを有することを特徴とする非球面形状の計測方法。

Fターム (24件)：

2F065AA46 , 2F065AA51 , 2F065BB05 , 2F065CC21 , 2F065DD06 , 2F065EE08 , 2F065FF01 , 2F065FF52 , 2F065FF61 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ19 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL09 , 2F065LL10 , 2F065PP12 , 2F065QQ18 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065QQ42 , 2F065RR08 , 2F065SS11

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