特許
J-GLOBAL ID：200903008924278109
非接触外観検査装置及び非接触容量検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-228387
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094330
出願日： 1994年09月22日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】 被検査物の容量が適性か否かを正確に検査できると共に安価な装置を提供すること。【構成】 被検査物W3を微少量だけ相対的に移動させる移動テーブル1と、被検査物にスリット光20を照射するスリット光源2と、スリット光源を挟んで配設され被検査物のスリット光照射部に指向してスリット画像を夫々撮像する第1及び第2のカメラ31,32と、第1及び第2のカメラの内の少なくとも一方のカメラから得られる有効なスリット画像から三次元データを画像処理し、被検査物を微小量だけ移動させた時の1スリット画像毎の容量を演算し、これらを積分して被検査物の全容量を演算する画像処理演算装置と、画像処理演算装置により演算された被検査物の全容量と適性量とを比較し、被検査物の全容量が適性量以上の場合に正常と判定すると共に、被検査物の全容量が適性量未満の場合に不良と判定する容量判定装置とを備えたこと。
請求項（抜粋）：
被検査物にスリット光を照射するスリット光源と、前記スリット光源を挟んで配設され、前記被検査物のスリット光照射部に指向してスリット画像を夫々撮像する第1及び第2のカメラと、前記第1及び第2のカメラの内の少なくとも何れか一方のカメラから得られる有効なスリット画像に基づいて被検査物の外観が正常が否かを判定する外観判定装置とを備えた非接触外観検査装置。
引用特許：
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