特許

J-GLOBAL ID：200903008930006900

プラズマ放射光の照射方法および装置

発明者： 角舘 洋三 ,  吉田 正典 ,  藤原 修三 ,  薄葉 州 ,  横井 裕之 ,  高尾 宣行 ,  杉山 修一
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  株式会社富士電機総合研究所
代理人 (2件)： 山口 巖 (外1名) ,  山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-334009
公開番号（公開出願番号）：特開平7-192890
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】被照射体への照射光量を大幅に増やす。【構成】ピンチプラズマ3の軸方向に放射される光3Aとピンチプラズマ3の半径方向外方に放射される光3Bとを重畳させて被照射体7に照射させる。

請求項（抜粋）：

円柱状に形成されたプラズマから放射される光を被照射体に照射させる方法であって、プラズマの軸方向に放射される光と、プラズマの半径方向外方に放射される光とを重畳させて被照射体に照射させることを特徴とするプラズマ放射光の照射方法。

IPC (2件)：

H05H 1/24 ,  G21K 5/02