特許

J-GLOBAL ID：200903008933075091

ダイヤフラムバルブ

発明者： 長岡 秀樹 ,  北澤 貴
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-195247
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021052
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 従来のダイヤフラムバルブの場合には、例えば流路2を開く時に図4に示すように駆動体4が上昇してもダイヤフラム3が駆動体4の動きに追随せず流路2を閉じたまま動かない、動作不良を発生することがあってもこのような動作不良を発見することができない。【解決手段】 本発明のダイヤフラムバルブ10は、駆動体14のダイヤフラム押さえ14Aのダイヤフラム13との接触面に導電性膜20を被着し、ダイヤフラム押さえ14Aの導電性膜20とダイヤフラム13とを電気的に接触させ、しかもこれら導電性膜20とダイヤフラム13にこれら両者20、13の導通を検出する手段としてフォトカップラー21を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

バルブ本体と、このバルブ本体内に形成された流路と、この流路を開閉する導電性のダイヤフラムと、このダイヤフラムと接触し且つこのダイヤフラムを駆動させる駆動体とを備え、上記駆動体と上記ダイヤフラムとを電気的に接触させると共にこれら両者の導通を検出する手段を設けたことを特徴とするダイヤフラムバルブ。

IPC (2件)：

F16K 7/12 ,  F16K 37/00

FI (2件)：

F16K 7/12 B ,  F16K 37/00 D

Fターム (6件)：

3H065AA01 ,  3H065BA01 ,  3H065BA07 ,  3H065BB11 ,  3H065BC13 ,  3H065CA01