ポリシング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：熊谷隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-285850
公開番号（公開出願番号）：特開平7-112362
出願日： 1993年10月20日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：

【要約】【目的】振動を検知し補償することにより研磨速度を速めても振動を抑制できるポリシング装置を提供すること。【構成】トップリング駆動軸25をケ-シング45に少なくとも2つのラジアル磁気軸受22,24と1つのスラスト磁気軸受23を介して回転自在に支持し、トップリング駆動軸25のラジアル方向の変位を検出し該変位を補償回路35,38を通してラジアル磁気軸受22,24にフィードバックするラジアル制御手段と、トップリング駆動軸25のスラスト方向の変位を検出し該変位を補償回路42を通してスラスト磁気軸受23にフィードバックするスラスト制御手段とを設け、トップリング駆動軸25のラジアル方向の振動を検出しラジアル制御手段の補償回路35,38を通してラジアル磁気軸受22,24にフィードバックすることにより、固有振動数での減衰量を制御して自励振動を抑制する。

請求項（抜粋）：

各々独立した回転数で回転するターンテーブルとトップリングを有するトップリング部を具備し、該トップリングを所定の圧力で前記ターンテーブルに押圧する手段を有し、該ターンテーブルと該トップリングの間にポリシング対象物を介在させて該ポリシング対象物の表面を平坦且つ鏡面に研磨するポリシング装置において、前記トップリング駆動軸をケ-シングに少なくとも2つのラジアル磁気軸受と1つのスラスト磁気軸受を介して回転自在に支持し、前記トップリング駆動軸のラジアル方向の変位を検出し該変位を補償回路を通して前記ラジアル磁気軸受にフィードバックするラジアル制御手段と、回転軸のスラスト方向の変位を検出し該変位を補償回路を通して前記スラスト磁気軸受にフィードバックするスラスト制御手段とを設け、前記トップリング部の振動を検出し前記ラジアル制御手段の補償回路を通して前記ラジアル磁気軸受にフィードバックすることにより、固有振動数での減衰量を制御して自励振動を抑制することを特徴とするポリシング装置。

IPC (3件)：

B24B 37/04 , B23Q 15/12 , H01L 21/304 321

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-086438
特表平1-501297
特開平1-116318

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