化学的機械研磨のための研磨材液供給装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-242406
公開番号（公開出願番号）：特開平9-057609
出願日： 1995年08月28日
公開日（公表日）： 1997年03月04日
要約：

【要約】【課題】研磨材原液と溶媒との混合比の変動による濃度変化や、研磨用微細粒子の沈殿による濃度変化がなく、常に性状が一定している研磨材液を研磨装置に供給することができる、化学的機械研磨のための研磨材液供給装置を得る。【解決手段】原液タンク1からの研磨材原液を計量する原液計量タンク4と、水等の溶媒を計量する溶媒計量タンク6とを一組だけ設け、いつも同じ条件で計量して混合することにより、研磨材原液と溶媒との混合比を一定に保つ。上記原液タンク1、原液計量タンク4、混合タンク9及び供給タンク11の内部の研磨材原液又は研磨材液を、それぞれのタンクに付設した供給管16,28,45,50と還流管17,29,46,51とを通じてポンプ18,31,47,52で常時循環させることにより撹拌し、研磨用微細粒子の沈殿を防ぐ。

請求項（抜粋）：

スラリー状の研磨材原液を収容するための原液タンク;上記原液タンクからの研磨材原液を計量する原液計量タンクと、溶媒源からの溶媒を計量する溶媒計量タンクとを、一組だけ備えた計量部;上記各計量タンクで計量された研磨材原液と溶媒とを混合して所要濃度の研磨材液を得る混合タンク;上記混合タンクで調合された研磨材液を受容して研磨装置に供給する研磨材液供給タンク;上記原液タンクと原液計量タンクとの間に設けられて、原液タンク内の研磨材原液を原液計量タンクに供給する供給管と、該供給管の一部から分岐して先端が原液タンクに導かれた還流管と、研磨材原液を圧送するためのポンプとを備え、研磨材原液が原液計量タンクに供給されていないときは、原液タンク内の研磨材原液を上記供給管及び還流管を通じて循環させる計量用原液移送管路;上記原液計量タンクと混合タンクとの間に設けられて、原液計量タンク内の研磨材原液を混合タンクに供給する供給管と、該供給管の一部から分岐して先端が原液計量タンクに導かれた還流管と、研磨材原液を圧送するためのポンプとを備え、研磨材原液が混合タンクに供給されていないときは、原液計量タンク内の研磨材原液を上記供給管及び還流管を通じて循環させる混合用原液移送管路;上記溶媒計量タンクと混合タンクとの間に設けられていて、溶媒計量タンク内の溶媒を混合タンクに供給する混合用溶媒移送管路;上記混合タンクと供給タンクとの間に設けられて、混合タンク内の研磨材液を供給タンクに供給する供給管と、該供給管の一部から分岐して先端が混合タンクに導かれた還流管と、研磨材液を圧送するためのポンプとを備え、少なくとも研磨材液が供給タンクに供給されていないときは、混合タンク内の研磨材液を上記供給管及び還流管を通じて循環させる供給用研磨材液移送管路;上記供給タンクと研磨装置との間に設けられて、供給タンク内の研磨材液を研磨装置に供給する供給管と、該供給管を上記供給タンクに導く還流管と、研磨材液を圧送するためのポンプとを備え、供給タンク内の研磨材液を上記供給管及び還流管を通じて常時循環させる負荷用研磨材液移送管路;を有することを特徴とする化学的機械研磨のための研磨材液供給装置。

前のページに戻る