特許
J-GLOBAL ID：200903008951768886
液中金属イオンの除去方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
櫻井 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-031462
公開番号（公開出願番号）：特開平8-197059
出願日： 1995年01月27日
公開日（公表日）： 1996年08月06日
要約：
【要約】〔目的〕 エッチング液などの処理液中に含まれる金属イオンを除去するための安価な方法及び装置を提供する。〔構成〕 処理槽(11)に処理液を送るための樹脂製の送液管(13)の外側に電極対(16a,16b・・・) を配置し、この電極対間に直流電圧(16e) を印加する。
請求項（抜粋）：
処理槽に処理液を送るための樹脂製の送液管の外側に電極対を配置し、この電極対間に直流電圧を印加することを特徴とする液中金属イオンの除去方法。
IPC (5件)：
C02F 1/461
, C23F 1/46
, C23G 1/36
, H01L 21/304 341
, H01L 21/3063
C02F 1/46 101 A
, H01L 21/306 L
