超微粒子、並びに、その製造方法及び製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-228521
公開番号（公開出願番号）：特開2003-041305
出願日： 2001年07月27日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】独立分散された任意の組成と組成比の超微粒子或いはそのコロイド溶液を、簡易かつ低コストな構成で安定して得ることができる超微粒子の製造方法、及びそれにより得られる超微粒子を提供すること。【解決手段】気相法により超微粒子を製造する超微粒子の製造方法において、スパッタリングによりターゲットを気相化し、気相化によりターゲットから飛び出した飛翔粒子を油面に蒸着させ、前記飛翔粒子を蒸着させた油を回収して、独立分散した超微粒子を製造する、或いは、前記気相化により前記ターゲットから飛び出した飛翔粒子を冷却固化させ、冷却固化された前記飛翔粒子を回収して、独立分散した超微粒子を製造する超微粒子の製造方法、及びそれにより得られる超微粒子。

請求項（抜粋）：

気相法により超微粒子を製造する超微粒子の製造方法において、スパッタリングによりターゲットを気相化し、前記気相化により前記ターゲットから飛び出した飛翔粒子を油面に蒸着させ、前記飛翔粒子を蒸着させた油を回収して、独立分散した超微粒子を製造することを特徴とする超微粒子の製造方法。

IPC (3件)：

B22F 9/14 , B01J 13/00 , B22F 9/00

FI (3件)：

B22F 9/14 Z , B01J 13/00 B , B22F 9/00 B

Fターム (13件)：

4G065AA04 , 4G065AB01X , 4G065AB03X , 4G065AB28Y , 4G065AB38Y , 4G065BA07 , 4G065BB06 , 4G065CA11 , 4G065DA09 , 4G065FA02 , 4K017AA01 , 4K017CA08 , 4K017EF05

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭49-052163
特開昭50-064850
特開昭60-039106

全件表示

前のページに戻る