セラミックスミラー及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奥山尚男 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-255101
公開番号（公開出願番号）：特開平6-208015
出願日： 1991年10月02日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：

【要約】【目的】ポアをゴースト化させることによって、特性の優れたセラミックスミラー及びその製造方法を提供すること。【構成】表面平坦度1μm以下および/または、レーザー干渉法による中心線平均粗さが1nm以下であることを特徴とするセラミックスミラー、および平均粒径1μm以下で純度99%以上の酸化チタン粉末を成形後、1000〜1300°Cの大気雰囲気、不活性雰囲気、真空雰囲気または還元雰囲気で焼結することを特徴とする請求項1又は2に記載のセラミックスミラーの製造方法。

請求項（抜粋）：