特許

J-GLOBAL ID：200903008968483931

弾性表面波デバイス

発明者： 山中 国人
出願人/特許権者： 東洋通信機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-282253
公開番号（公開出願番号）：特開2005-051574
出願日： 2003年07月30日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：

【課題】水晶基板を用いたSAWデバイスにおいて、長期エージング後の周波数変動量を低減することを目的とする。【解決手段】圧電基板に回転YカットX伝搬水晶基板を用い、該圧電基板上に互いに間挿し合う電極指を有する一対のくし型電極で形成されたIDT電極を弾性表面波の伝搬方向に2個、所定の間隔をおいて配置したトランスバーサル弾性表面波フィルタにおいて、弾性表面波の伝搬路上及びその周辺部上に200Å以上300Å以下の厚みを有する二酸化珪素(SiO2)絶縁膜を設ける。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

圧電基板上に、互いに間挿し合う電極指を有する一対のくし型電極で形成されたIDT電極を配置した弾性表面波デバイスにおいて、弾性表面波の伝搬路上及びその周辺部上に200Å以上300Å以下の厚みを有する絶縁膜を設け、且つ、該圧電基板に回転YカットX伝搬水晶基板を用いたことを特徴とする弾性表面波デバイス。

IPC (3件)：

H03H9/145 ,  H03H9/25 ,  H03H9/64

FI (3件)：

H03H9/145 C ,  H03H9/25 C ,  H03H9/64 Z

Fターム (11件)：

5J097AA24 ,  5J097AA25 ,  5J097BB11 ,  5J097DD20 ,  5J097DD29 ,  5J097FF05 ,  5J097GG02 ,  5J097GG05 ,  5J097KK01 ,  5J097KK05 ,  5J097KK09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 弾性表面波フイルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-173790   出願人：沖電気工業株式会社
• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-119394   出願人：京セラ株式会社