枚葉式研磨機および研磨方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：守田賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-147437
公開番号（公開出願番号）：特開2000-334654
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：

【要約】【課題】粗研磨の研磨レートを十分に高くする。【解決手段】回転する一対の定盤1A,1Bの対向面にそれぞれ研磨パッド2を接合し、これら研磨パッド2間に板状ワークWの一部を両面から挟んで砥粒を供給しつつ研磨する。上記研磨パッド2を砥粒の浸透性に優れる不織布で構成する。

請求項（抜粋）：

回転する一対の定盤の対向面にそれぞれ研磨パッドを接合し、これら研磨パッド間に板状ワークの一部を両面から挟んで砥粒を供給しつつ研磨する枚葉式研磨機において、前記研磨パッドを不織布で構成したことを特徴とする枚葉式研磨機。

Fターム (8件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058AA14 , 3C058AB04 , 3C058AC04 , 3C058CA01 , 3C058CB03 , 3C058DA02

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