特許
J-GLOBAL ID：200903008979015336
機能性薄膜デバイス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-133945
公開番号（公開出願番号）：特開平11-329741
出願日： 1998年05月15日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：
【要約】【課題】 均一な厚みで形成された機能性薄膜層を備えた機能性薄膜デバイスを提供する。【解決手段】 仕切部材であるバンク(110)で囲まれた領域(101)に1層以上の薄膜層(131)が積層された薄膜構造を備える機能性薄膜デバイスである。バンク(110)は、薄膜層(131)の液相材料である薄膜材料液に対し親和性を示す親和性バンク層(111,112)と薄膜材料液に対し非親和性を示す非親和性バンク層(121)とが交互に積層されて構成されている。薄膜層(131)は、親和性バンク層(111)とその上に積層された非親和性バンク層(121)との境界を含む平面がその界面となるようにその厚みが調整されて形成されている。
請求項（抜粋）：
仕切部材であるバンクで囲まれた領域に1層以上の薄膜層が積層された薄膜構造を備える機能性薄膜デバイスであって、前記バンクは、前記薄膜層の液相材料である薄膜材料液に対し親和性を示す親和性バンク層と当該薄膜材料液に対し非親和性を示す非親和性バンク層とが交互に積層されて構成され、前記薄膜層は、前記親和性バンク層とその上に積層された前記非親和性バンク層との境界を含む平面がその界面となるようにその厚みが調整されて形成されていることを特徴とする機能性薄膜デバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05B 33/22 Z
, H05B 33/14 A
