特許

J-GLOBAL ID：200903008979850405

研磨用キャリヤ

発明者： 日下部 正良 ,  荒川 浄 ,  小林 正宏
出願人/特許権者： 日本電気硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-161924
公開番号（公開出願番号）：特開平10-337653
出願日： 1997年06月03日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】 脆性材料からなる矩形の板状をした被研磨体を欠けやクラックのない高精度の平坦面に研磨でき、丈夫で長く使用できる研磨用キャリヤを提供すること。【解決手段】 本願発明は、板状の被研磨体5を嵌合保持する矩形の保持孔2を有し、且つ該保持孔2のコーナーに逃げ部2aを有する研磨用キャリヤ1において、保持孔2と逃げ部2aとの接続箇所2bにおける周辺面1a内に貫通孔3を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

板状の被研磨体を嵌合保持する矩形の保持孔を有し、且つ該保持孔のコーナーに逃げ部を有する研磨用キャリヤにおいて、保持孔と逃げ部との接続箇所における周辺面内に貫通孔を設けたことを特徴とする研磨用キャリヤ。