特許
J-GLOBAL ID：200903008990719167
モアレ縞を使った微小変位計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-239075
公開番号（公開出願番号）：特開平10-082614
出願日： 1996年09月10日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：
【要約】【課題】 モアレ縞を使って観測対象の視準線方向に垂直な平面内の任意方向の変位を迅速にかつ非接触で計測し得るモアレ縞を使った微小変位計測装置を提供する。【解決手段】 市松模様からなる実体格子1をTVカメラ3で撮像し、その撮像出力を画像処理回路4に含まれるA/D変換器41によってディジタル信号に変換して実体格子画像データをメモリ42に記憶し、別途作成した参照格子画像データと記憶した実体格子画像データとを演算回路43によって加算平均してモアレ縞の画像データを出力し、この画像データの変位に基づいて観測地点の微小変位を計測する。
請求項（抜粋）：
モアレ縞を使って観測地点の微小変位を計測する微小変位計測装置であって、前記観測地点に設置した空間的に周期構造を持つ実体格子を遠隔地点から撮像する撮像手段、前記撮像手段の撮像出力をディジタル信号に変換して実体格子画像データを出力する変換手段、および別途作成した参照格子画像データと前記変換手段から出力された実体格子画像データとを加算平均してモアレ縞画像データを出力する画像処理手段を備えた、モアレ縞を使った微小変位計測装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01B 11/00 H
, G01B 11/00 F
, G01N 21/45 A
