カーボン発熱体

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福田保夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-096153
公開番号（公開出願番号）：特開平9-255427
出願日： 1996年03月26日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：

【要約】【課題】長期の使用に際しても材質消耗が少なく、パーティクルの発生に伴う製品汚染を招くことのない安定かつ非汚染性のカーボン発熱体を提供する。【解決手段】ガラス状カーボン組織中にSiを 0.1〜10重量%の範囲で分散含有するSi含有ガラス状カーボン材からなるカーボン発熱体。Si含有ガラス状カーボン材としては、熱硬化性樹脂と1分子中に単一のSi原子を含むSiアルコキシドの加水分解物を有機溶媒中で撹拌混合して-O-Si-O-で架橋された硬化成形体、あるいは1分子中に単一のSi原子を含むアミノシラン化合物またはエポキシシラン化合物を熱硬化性樹脂液中に滴下して撹拌混合し成形した硬化成形体を焼成炭化して得られ、原子レベルのSiがガラス状カーボン組織中に均一な連続相として分布する組織性状を備えるものを用いることが好ましい。

請求項（抜粋）：

ガラス状カーボン組織中にSiを0.1〜10重量%の範囲で分散含有するSi含有ガラス状カーボン材からなることを特徴とするカーボン発熱体。

IPC (2件)：

C04B 35/52 , C01B 31/36

FI (2件)：

C04B 35/52 B , C01B 31/36

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平2-192411
半導体製造装置用炭素部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-330864 出願人：株式会社創造科学, 有限会社宮田技研
特許第3396113号

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審査官引用 (1件)

特開平2-192411

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