特許
J-GLOBAL ID：200903008991705160
レーザー装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-224082
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077576
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 フィードバック制御により出力レーザー光を所望のレーザー品質に保つレーザー装置において、レーザー発振再開後、直ちに安定した制御状態を確立し、短時間内に所望のレーザー品質を確保する。【構成】 レーザー発振が停止すると、温度モニター11aがグレーティング支持部の温度を検出する。オープンループ制御機構12aはこの温度検出値を基にレーザー光Lの波長を発振停止前の基準値に保つために必要な角度を演算してグレーティング角駆動機構8aがその指令によりグレーティング9の角度を駆動制御する。
請求項（抜粋）：
レーザー発振中の所定のレーザー品質を検出するモニター機構、上記所定のレーザー品質を変化させる駆動機構、および上記モニター機構の検出値が所定の基準値と一致するよう上記駆動機構の駆動量を制御するフィードバック制御機構を備えたレーザー装置において、レーザー発振停止中上記駆動機構の内その温度が上記レーザー品質に影響を及ぼす部分の温度を検出する温度モニター、およびレーザー発振再開時までの間上記温度モニターの検出値を基にレーザー発振停止時点からの温度変化量を求めこの温度変化量に対して上記所定のレーザー品質を一定とするために必要な上記駆動機構の駆動量の補正制御を行うオープンループ制御機構を備えたことを特徴とするレーザー装置。
IPC (3件)：
H01S 3/106
, G01J 3/12
, H01S 3/00
