特許
J-GLOBAL ID：200903008992259767
透過電子顕微鏡用試料の作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-088536
公開番号（公開出願番号）：特開平5-290779
出願日： 1992年04月09日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 機械的研磨により30μm程度までの厚さに研磨された試料表面の一部に所定の化学エッチング溶液を付着して溝あるいは穴を形成することにより透過電子顕微鏡用試料の作製方法を提供する。【構成】 GaAs基板上に結晶成長されたAlGaInP系の半導体レーザ構造のウエハ-をダミ-ガラスで挟み込んで補強リング27に固定し機械的研磨したのち、化学エッチング溶液32を一滴所望の位置に落下して試料31表面に付着しエッチングする。
請求項（抜粋）：
補強リングに固定した試料を機械的研磨により30μm程度の厚さに研磨した後、前記試料表面の一部に所定の化学エッチング溶液を落下して付着して付着面積よりも狭い溝もしくは穴を形成することを特徴とする透過電子顕微鏡用試料の作製方法。
IPC (2件)：
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