特許
J-GLOBAL ID：200903008993860707
基板位置補正装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
市村 健夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-195853
公開番号（公開出願番号）：特開平6-020920
出願日： 1992年07月01日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【目的】 レチクル等の搬送時の位置ズレを検出し、ステージ受け渡し前に安全かつ確実に補正する。【構成】 CCDカメラ2a、2bで基板搬送部材上に保持された矩形の基板1のコーナーを所定の位置で撮像する。基板保持位置検出手段でCCDカメラ2a、2bからの信号を画像処理し、前記基板搬送部材上における基板1の保持位置を検出する。前記基板保持位置検出手段により検出した基板1の保持位置と前記搬送部材上に定めた基板1の適正保持位置との位置ずれ量を位置ずれ量算出手段で算出する。ステージ制御手段で基板1が位置決めステージに受け渡される前に、前記位置決めステージを初期位置から前記位置ずれ量に等しい移動量だけ移動し、この位置で基板1が前記位置決めステージに受け渡された後、前記位置決めステージを前記初期位置へ戻す。
請求項（抜粋）：
基板搬送部材上に保持された矩形の基板のコーナーを所定の位置で撮像する撮像手段と、前記撮像手段からの信号を画像処理し、前記基板搬送部材上における前記基板の保持位置を検出する基板保持位置検出手段と、前記基板保持位置検出手段により検出した前記基板の保持位置と前記搬送部材上に定めた前記基板の適正保持位置との位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段と、前記基板が位置決めステージに受け渡される前に、前記位置決めステージを初期位置から前記位置ずれ量に等しい移動量だけ移動し、この位置で前記基板が前記位置決めステージに受け渡された後、前記位置決めステージを前記初期位置へ戻すステージ制御手段と、を有することを特徴とする基板位置補正装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B65H 9/00
, H01L 21/68
, B65H 7/08
