特許
J-GLOBAL ID：200903009004495619
電気特性検査装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-241703
公開番号（公開出願番号）：特開平7-098349
出願日： 1993年09月28日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：
【要約】【目的】電気特性の検査において、被検査体の位置合わせが、迅速かつ、正確に行える電気特性検査装置を提供する。【構成】本発明の検査装置は、表示パネル2を載置するX-Yステージ4上に直交する二方向に微動可能なX-Y微動機構5を二つ有する。各X-Y微動機構5は位置決め穴6’を有する位置決めブロック6を有する。本検査では、表示パネル2を位置合わせの基準体とし、表示パネル2上の座標系において、表示パネル2とプロービングプレート11とが正しく結合した際の位置決めピン12の座標と、表示パネル2のアライメントマークの座標を基準点とする。検査テーブル3上に表示パネル2が載置された際の、アライメントマークの位置と基準点の座標より、検査テーブル3上の座標系内での位置決めピン12の位置、すなわち、位置決めピン12が挿入される位置決め穴6’の座標が確定する。
請求項（抜粋）：
ステージと、検査対象のワークが載置されるテーブルと、該テーブルを、該ステージ上で互いに直交する二方向に移動させる第1の移動機構と、該第1の移動機構上に設けられ、該テーブルを載置する取り付け板と、該取り付け板上に設けられ、該取り付け板上で互いに直交する二方向に微動可能になった二つの第2の移動機構と、各第2の移動機構上に固定され、所定の位置決め穴が設けられたブロックと、該ワーク表面に設けられた所定のアライメントマークを検出する光学手段と、該ワークの複数の検査部位に対応したプローブ列を有するプローブ保持体と、該プローブ保持体の該ワークに対する対向面の所定の位置に設けられ、各位置決め穴に嵌合可能になった位置決めピンとを有する電気特性検査装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
