特許

J-GLOBAL ID：200903009006000862

投影露光装置

発明者： 名井 康人 ,  宮本 照雄 ,  内山 淑恵 ,  頭本 信行 ,  八木 俊憲 ,  加門 和也 ,  田中 正明
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-185299
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013301
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：

【要約】【目的】 フライアイレンズ後段に輪帯状の開口を有するアパーチャを備えた投影露光装置において、光源からの光の利用効率を向上させる。【構成】 ミラー2とフライアレンズ3との間に、光強度分布整形光学系5を設け、ランプハウス1からの光源光を整形し、予め輪帯状アパーチャ4の開口部4aと適合するものとしてフライアイレンズ3に入射するようにする。

請求項（抜粋）：

光源と、該光源から出射された光源光を回路パターンが形成されたマスク上に照射させる集光レンズ系と、上記マスクを通過した光をウエハ表面に集光させる投影レンズ系と、上記光源と集光レンズ系との間に配置された輪帯状の光透過領域を有するアパーチャと、上記光源とアパーチャとの光路間に、光源光を上記アパーチャの光透過領域に適合した形状に整形する光強度分布整形光学系とを備えたことを特徴とする投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 27/00 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 311 S