誘導型リニアスケ-ル

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-343589
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065597
出願日： 1998年11月17日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】改良されたコンパクトな巻線構成を用いて、無駄なオフセット成分がなく、外部磁界の影響も受けず、且つ格別の製造や回路精度を要せず高分解能の位置測定を可能とする高精度の誘導電流型位置トランスジューサを備えた誘導型リニアスケールを提供する。【解決手段】位置トランスジューサを備えた誘導型リニアスケール200は、磁束結合ループ244,246が形成されたスケールと、送信巻線262A,262Bと受信巻線266,268とが形成された読取りヘッド230とを有する。送信巻線262A,262Bが発生する一次磁界は磁束結合ループ244,246の第1のループ部分248,254に結合し、第2のループ部分250,256は二次磁界を発生して、受信巻線266,268に誘導結合する。受信巻線266,268は磁束結合ループ244,246の配列と対応する周期パターンに形成されて、スケール204と読取りヘッド230の相対位置に応じた位置依存性出力を出す。

請求項（抜粋）：

スライダと、このスライダが測定軸に沿って移動可能であるような測定軸を有するビームと、励振信号に応答して第1の磁束領域内に第1の可変磁束を発生する少なくとも一つの磁界発生器と、前記第1の磁束領域内に配置された第1の部分及び前記第1の磁束領域から物理的に離れた第2の磁束領域内に配置された第2の部分を有し、前記第1の部分に前記第1の可変磁束に応答して誘導電流が発生され、その誘導電流により前記第2の部分に第2の可変磁束が発生される少なくとも一つの磁束結合ループと、少なくとも一つの磁束センサとを備え、a)少なくとも一つの磁束センサと、b)少なくとも一つの磁界発生器の少なくとも一方は、前記測定軸に沿って延び且つ交番する幅の増減を含むパターンで空間的に変調された誘導性領域を含み、各磁束センサは、前記第1の磁束領域の外側に配置されて少なくとも一つの前記磁束結合ループの前記第2の磁束領域の前記第2の可変磁束を検出すると共に、検出された磁束に基づいて当該磁束センサと少なくとも一つの前記磁束結合ループとの間の相対位置の関数である出力信号を発生するものであり、且つ、前記磁界発生器、磁束結合ループ及び磁束センサのいずれか一つが前記スライダと前記ビームの一方に、残りの二つが他方に配置されていることを特徴とする誘導型リニアスケール。

IPC (4件)：

G01D 5/245 101 , G01D 5/245 , G01D 5/245 102 , G01B 7/00

FI (4件)：

G01D 5/245 101 F , G01D 5/245 X , G01D 5/245 102 B , G01B 7/00 D

Fターム (36件)：

2F063AA02 , 2F063CA08 , 2F063CA09 , 2F063CA10 , 2F063CB04 , 2F063CC04 , 2F063DA01 , 2F063DA19 , 2F063DB04 , 2F063DD06 , 2F063EA02 , 2F063GA08 , 2F063GA26 , 2F063LA03 , 2F063LA19 , 2F063LA23 , 2F063LA25 , 2F077AA21 , 2F077AA25 , 2F077FF03 , 2F077FF16 , 2F077FF32 , 2F077NN05 , 2F077NN16 , 2F077PP09 , 2F077QQ07 , 2F077QQ08 , 2F077QQ10 , 2F077RR03 , 2F077RR07 , 2F077RR08 , 2F077TT33 , 2F077TT43 , 2F077TT45 , 2F077TT82 , 2F077UU07

引用特許：

審査官引用 (2件)

絶対位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-047205 出願人：株式会社安川電機
特開昭62-257015

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