特許
J-GLOBAL ID：200903009020009961
導波路型受光モジュール
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-345126
公開番号（公開出願番号）：特開平5-175524
出願日： 1991年12月26日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【目的】 導波路型受光モジュールにおいて、導波路と受光素子を無調整で簡単に固定し得る構造とする。【構成】 Si基板1上に構成された導波路から光が出射する位置にガイド溝5を形成し、このガイド溝5にAu-Sn バンプ8を用いて受光素子4を固定する。【効果】 導波路と受光素子との間の光軸調整が不要となり、生産工程が簡略化される。
請求項（抜粋）：
導波路の終端から出射される光の光軸上に受光素子を配した構造の導波路型受光モジュールにおいて、前記導波路を基板上に固定するとともに、該導波路の終端面を斜めに形成して全反射面をなし、この全反射面により反射された光の出射する位置にガイド溝を設けて前記受光素子をこのガイド溝に挿入固定し、更に、挿入固定された受光素子が前記基板上に設けられた導波路電極と電気的に接続されていることを特徴とする導波路型受光モジュール。
IPC (2件)：
H01L 31/0232
, H01L 31/10
H01L 31/02 D
, H01L 31/10 A
