特許
J-GLOBAL ID:200903009021923500
光学素子の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西山 恵三 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-170785
公開番号(公開出願番号):特開2002-082211
出願日: 2001年06月06日
公開日(公表日): 2002年03月22日
要約:
【要約】【課題】 高透過率の蛍石レンズを得ること。【解決手段】 フッ化カルシウム基板をレンズに加工した後、基板表面の変質層を除去する。
請求項(抜粋):
基板を加工する段階と、該加工後の前記基板の表面から汚染物質を除去する段階と、該加工後の前記基板の前記表面の変質層を除去する段階とを含む光学素子の製造方法。
IPC (8件):
G02B 3/00
, B08B 1/00
, B08B 3/12
, B08B 7/04
, G02B 1/02
, G03F 7/20 502
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
FI (9件):
G02B 3/00 Z
, B08B 1/00
, B08B 3/12 Z
, B08B 7/04 Z
, G02B 1/02
, G03F 7/20 502
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 503 G
, H01L 21/30 515 D
Fターム (24件):
2H097AA03
, 2H097BA10
, 2H097CA13
, 2H097EA01
, 2H097LA10
, 3B116AA01
, 3B116BA01
, 3B116BB02
, 3B116BB83
, 3B116BB89
, 3B116BC01
, 3B116CC01
, 3B116CC03
, 3B201AA01
, 3B201BA01
, 3B201BB02
, 3B201BB83
, 3B201BB89
, 3B201BC01
, 3B201CC01
, 3B201CC12
, 5F046AA28
, 5F046BA03
, 5F046CB12
引用特許:
前のページに戻る