特許

J-GLOBAL ID：200903009025891409

薄膜をパターニングする方法

発明者： ブラッドリー、ドナル ,  デ・メロ、ジョン ,  フアン、ジンソン
出願人/特許権者： インペリアル・カレッジ・イノベーションズ・リミテッド
代理人 (12件)： 鈴江 武彦 ,  蔵田 昌俊 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  砂川 克 ,  橋本 良郎 ,  風間 鉄也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-540685
公開番号（公開出願番号）：特表2009-516380
出願日： 2006年11月15日
公開日（公表日）： 2009年04月16日
要約：

基板上に、放射線感知性の中間層を堆積させることと、この中間層上に、薄膜を堆積させることと、この薄膜を堆積させる前に、もしくは後に、前記中間層内で化学反応を始めさせるように、パターニングされた放射線でこの中間層を露光することと、前記基板上に、パターニングされた薄膜と、パターニングされた中間層とを残すように、この中間層のパターニングされた放射線で規定された部分と、対応する薄膜部分とを取り除くこととを具備する、薄膜をパターニングする方法。

請求項（抜粋）：

基板上に、放射線感知性の中間層を堆積させることと、 この中間層上に、薄膜を堆積させることと、 この薄膜を堆積させる前に、もしくは後に、前記中間層内で化学反応を始めさせるように、パターニングされた放射線でこの中間層を露光することと、 前記基板上に、パターニングされた薄膜と、パターニングされた中間層とを残すように、この中間層のパターニングされた放射線で規定された部分と、対応する薄膜部分とを取り除くこととを具備する、薄膜をパターニングする方法。

IPC (11件)：

H01L 21/027 ,  B82B 3/00 ,  B82B 1/00 ,  H01L 33/00 ,  H01L 31/10 ,  G03F 7/20 ,  G02B 5/20 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/26 ,  G03F 7/11

FI (12件)：

H01L21/30 565 ,  B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  H01L33/00 A ,  H01L31/10 A ,  G03F7/20 501 ,  G02B5/20 101 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/26 A ,  G03F7/11 501 ,  H01L21/30 568

Fターム (33件)：

2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025DA02 ,  2H025DA03 ,  2H025DA29 ,  2H048BA02 ,  2H048BA45 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H097AA20 ,  2H097JA02 ,  2H097JA05 ,  2H097LA20 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107DD22 ,  3K107DD43X ,  3K107DD59 ,  3K107DD60 ,  3K107DD97 ,  3K107EE02 ,  3K107EE03 ,  3K107GG11 ,  5F041AA31 ,  5F041CA45 ,  5F046JA22 ,  5F049MB08 ,  5F049NA18