特許
J-GLOBAL ID：200903009029742513
ゾルゲル法による薄膜の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内田 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-178353
公開番号（公開出願番号）：特開平5-023637
出願日： 1991年07月18日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：
【要約】【目的】 本発明はゾルゲル法により薄膜を作成する方法に関する。【構成】 金属アルコキシドに水、アルコール、酸を加えることにより得られる加水分解溶液を基板上に付着せしめて薄膜を作製する方法において、該加水分解溶液を減圧下に保つことにより濃縮した後、基板上に付着せしめることを特徴とする。上記金属アルコキシドとしてはシリコン、ボロン、チタン、ゲルマニウムまたはアルミニウムのアルコキシドが挙げられる。これにより増粘剤等を使用せずに粘度を上げられるので、膜厚の厚いものを作成できる。
請求項（抜粋）：
金属アルコキシドに水、アルコール、酸を加えることにより得られる加水分解溶液を基板上に付着せしめて薄膜を作製する方法において、該加水分解溶液を減圧下に保つことにより濃縮した後、基板上に付着せしめることを特徴とする薄膜の作製方法。
IPC (2件)：
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