荷電粒子照射装置及び荷電粒子制御方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村満
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-320764
公開番号（公開出願番号）：特開2007-250523
出願日： 2006年11月28日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：

【課題】複数のイオンビームを独立してオン・オフ可能とする。【解決手段】イオンガン11は、ガス導入部114よりArガスを本体111内に導入し、フィラメント113とアノード112との間で直流熱陰極放電をおこし、Arのプラズマを生成する。次に、2つ分割された構成を有する、分割加速グリッド116a、116bに、イオンを射出する方向に電圧勾配を与えて、イオンを射出させる。加速制御スイッチ121a、121bを独立してオン・オフすることにより、分割加速グリッド116a、116bの電位を独立に制御し、停止すべきイオンビームに対応する分割加速グリッド116a、116bの電位をフローティング状態にして、イオンビームを停止する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

荷電粒子を照射する荷電粒子照射装置であって、荷電粒子を生成する荷電粒子生成手段と、前記荷電粒子生成手段で生成された荷電粒子を引き出して荷電粒子ビームを出力する複数に分割された加速グリッドと、前記複数に分割された該加速グリッドの電位を個々に制御することにより、対応する荷電粒子ビームの強度を独立に制御する制御手段と、を備えることを特徴とした荷電粒子照射装置。

IPC (4件)：

H01J 37/305 , H01J 27/02 , H01J 37/08 , H01J 27/08

FI (4件)：

H01J37/305 A , H01J27/02 , H01J37/08 , H01J27/08

Fターム (4件)：

5C030DD05 , 5C030DE04 , 5C030DG07 , 5C034BB10

引用特許：

出願人引用 (2件)

圧電素子の周波数調整装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-134773 出願人：株式会社昭和真空
イオンエッチングによる圧電共振子の共振周波数調整装置及び共振周波数調整方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-103164 出願人：株式会社昭和真空

審査官引用 (7件)

特開昭61-019039
特開昭63-066827
特開平2-065033

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