特許
J-GLOBAL ID：200903009044016802
セラミック複合焼結体およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-293167
公開番号（公開出願番号）：特開平6-144930
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1994年05月24日
要約：
【要約】【構成】炭化珪素粉末を所定の形状に成形し、該成形体を窒素雰囲気中で熱処理して炭化珪素を窒化させ、炭化珪素、窒化珪素および遊離炭素からなる多孔質体を作製し、該多孔質体に金属珪素を含浸させ、前記金属珪素と前記遊離炭素とを反応させてβ型炭化珪素を生成させ、炭化珪素1および窒化珪素2の複合体より形成される3次元網状構造の骨格の空隙部に少なくともβ型炭化珪素3が充填されてなるセラミック複合焼結体を得る。【効果】従来の反応焼結法による炭化珪素焼結体に比較して高い強度を有し、しかも助剤などを全く添加することなく、不純物量が少なく、高密度化の焼結体を作製することができ、半導体素子製造用の治具などに適用することができる。
請求項（抜粋）：
炭化珪素および窒化珪素の複合体より形成される3次元網状構造の骨格の空隙部に少なくともβ型炭化珪素が充填されてなることを特徴とするセラミック複合焼結体。
IPC (2件)：
C04B 35/56 101
, C04B 35/58 102
