特許

J-GLOBAL ID：200903009048594207

カラーフィルタ表面の微小異物の付着防止方法と、スクライブ装置およびブレイク装置

発明者： 伊藤 博康
出願人/特許権者： 新エスティーアイ テクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 亀井 弘勝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-131051
公開番号（公開出願番号）：特開2001-311819
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】 カラーフィルタ表面に微小な異物が付着するのを防止方法と、微小な異物の付着を防止する部材を備えたスクライブ装置およびブレイク装置とを提供する。【解決手段】 カラーフィルタパネル84の表面84b上に溝85を刻設する場合にあっては、切削具11を摺動させて刻設するとともに切刃12に向けてエアーを吹き掛け、当該エアーによって吹き上げられたパネルの破片が飛散するのを吸引口14で遮って、当該破片を吸引手段15によって吸引し、除去する。

請求項（抜粋）：

カラーフィルタ基板の表面上に切削具を摺動させて溝を刻設しつつ、前記切削具の切刃に向けてエアーを吹き掛けた後、当該エアーによって吹き上げられた前記基板の破片が飛散するのを遮って、当該破片を吸引し、除去することを特徴とする、カラーフィルタ表面の微小異物の付着防止方法。

IPC (5件)：

G02B 5/20 101 ,  B23Q 11/00 ,  C03B 33/027 ,  G02F 1/13 505 ,  G02F 1/1335 505

FI (5件)：

G02B 5/20 101 ,  B23Q 11/00 M ,  C03B 33/027 ,  G02F 1/13 505 ,  G02F 1/1335 505

Fターム (18件)：

2H048BA11 ,  2H048BB12 ,  2H048BB42 ,  2H088FA30 ,  2H088HA03 ,  2H088HA12 ,  2H088MA20 ,  2H091FA02Y ,  2H091FA35Y ,  2H091FC14 ,  2H091FC16 ,  2H091GA06 ,  2H091GA16 ,  2H091LA30 ,  3C011BB06 ,  4G015FA03 ,  4G015FB01 ,  4G015FC07