特許

J-GLOBAL ID：200903009049094518

固体表面に付着する微粒子の除去方法

発明者： 向阪 保雄 ,  新居田 亨 ,  遠藤 禎行 ,  堀内 貴洋 ,  太田 嘉治
出願人/特許権者： 野村マイクロ・サイエンス株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-274546
公開番号（公開出願番号）：特開平6-124933
出願日： 1992年10月13日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】 物質の持つ自然のエネルギー、すなわち洗浄液、たとえば超純水の凍結作用および凍結層の融解作用を巧みに利用して、固体表面に付着する微粒子を効果的に離脱・除去することが可能な、固体表面に付着する微粒子の除去方法の提供を目的とする。【構成】 表面に微粒子の付着した固体を容器に収容した洗浄液中に配置(浸漬)して負の温度領域の低温で冷却処理し、前記容器中の洗浄液を凍結させて固体表面の付着微粒子を凍結層に取り込み、次いで超純水中に浸漬・処理して前記凍結層を融解させて固体表面に付着していた微粒子を固体表面から分離・除去することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

表面に微粒子の付着した固体を容器に収容した洗浄液中に配置して負の温度領域の低温で冷却処理し、前記容器中の洗浄液を凍結させ、固体表面の付着微粒子を凍結層に取り込み、次いで超純水中に浸漬・処理して前記凍結層を融解させて固体表面に付着していた微粒子を固体表面から分離・除去することを特徴とする固体表面に付着する微粒子の除去方法。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  B08B 3/10 ,  G02F 1/13 101 ,  G03F 1/08