特許
J-GLOBAL ID：200903009051791064
微小位置測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小泉 伸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-234154
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075414
出願日： 1994年09月02日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 サブミクロンから数ミリメートルまでの層状の試料の層の厚さを非接触で比較的簡単に測定することを可能とした微小位置測定装置を提供する。【構成】 レーザダイオード駆動電源16により一定の順方向電流が印加されているレーザダイオード12は、一定の光量の光を出力している。この光は、共焦点光学系20により試料S中に光スポットを結ぶ。試料からの反射光は、再び共焦点光学系20を経て光源12に戻る。ピエゾステージ26が共焦点光学系22の位置を光軸Z方向に走査しており、光スポットが試料中の境界面に当たったとき、光源12に帰還する光量が増加する。この光出力の増大をホトダイオード14が検出する。演算・制御装置30が、光出力が増倍した時点の走査手段26による共焦点光学系20の位置から、試料の該光軸Z方向における各境界面の位置を演算し、各境界面の位置から境界面間の距離を演算する。
請求項（抜粋）：
増倍機能を有する光源と、該光源からの光の光軸方向に沿って共焦点系を構成することにより、該光源からの光を少なくとも一つの境界面を有する試料に集束照射し、かつ、該試料からの反射光を該光源に帰還入射させるための共焦点光学系と、該共焦点光学系に対する該試料の相対位置を該光軸方向に移動させる走査手段と、該光源に帰還入射する試料からの反射光の光量により変動する該光源の出力状態を検出するための検出手段と、該検出手段の検出結果と該走査手段による該試料の該共焦点光学系に対する相対位置に基づき、該試料の該少なくとも一つの境界面の該光軸方向における位置を演算するための演算手段を備えることを特徴とする、試料の境界面の位置を測定するための微小位置測定装置。
IPC (2件)：
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