共焦点顕微鏡装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224323
公開番号（公開出願番号）：特開2001-051200
出願日： 1999年08月06日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】オーバーシュートやハンチングが抑制され、測定時間範囲が拡大され、駆動回路の破損や対物レンズの試料への衝突が防止される共焦点顕微鏡装置を提供する。【解決手段】共焦点スキャナにより光ビームで試料面を走査すると共に移動機構により光ビームを光軸方向に走査して試料の3次元画像が得られるように構成してなる共焦点顕微鏡装置において、前記移動機構を駆動する駆動手段を備え、この駆動手段からは前記移動機構の変位の周波数特性の逆特性に基づいて補正された駆動波形が出力されるようにする。

請求項（抜粋）：

共焦点スキャナにより光ビームで試料面を走査すると共に移動機構により光ビームを光軸方向に走査して試料の3次元画像が得られるように構成してなる共焦点顕微鏡装置において、前記移動機構を駆動する駆動手段を備え、この駆動手段からは前記移動機構の変位の周波数特性の逆特性に基づいて補正された駆動波形が出力されるようにしたことを特徴とする共焦点顕微鏡。

Fターム (7件)：

2H052AA08 , 2H052AB01 , 2H052AB04 , 2H052AC15 , 2H052AD06 , 2H052AD31 , 2H052AF14

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