特許
J-GLOBAL ID：200903009064218070
イオン注入装置における注入条件異常検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-276035
公開番号（公開出願番号）：特開平8-115701
出願日： 1994年10月14日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【目的】 イオンビームのイオン種およびエネルギーの異常を正しく検出することができる注入条件異常検出方法を提供する。【構成】 この注入条件異常検出方法は、ターゲット32に対する注入前および注入中に、エネルギー分析マグネット24における磁束密度のチェック時の値と、その時のイオンの質量数、価数およびイオンビーム8への全印加電圧(即ちVE +VA 、またはVD )とに基づいて、当該エネルギー分析マグネット24におけるイオンビーム8の曲率半径を算出し、かつ当該曲率半径がその許容値に対する所定の許容範囲内にあるか否かをチェックするチェック工程を備えている。
請求項（抜粋）：
イオンビームを引き出すイオン源と、このイオン源の下流側に設けられていて、同イオン源から引き出されたイオンビームから特定の質量数および価数のイオンを選別して導出する質量分析マグネットと、この質量分析マグネットの下流側に設けられていて、同質量分析マグネットから導出されたイオンビームを加速または減速する加速管と、この加速管の下流側に設けられていて、同加速管から導出されたイオンビームから特定のエネルギーのイオンを選別して導出するエネルギー分析マグネットとを備え、このエネルギー分析マグネットから導出されたイオンビームをターゲットに入射させる構成のイオン注入装置における方法であって、ターゲットに対する注入前および注入中に、前記エネルギー分析マグネットにおける磁束密度のチェック時の値と、その時のイオンの質量数、価数およびイオンビームへの全印加電圧とに基づいて、当該エネルギー分析マグネットにおけるイオンビームの曲率半径を算出し、かつ当該曲率半径がその基準値に対する所定の許容範囲内にあるか否かをチェックする、エネルギー分析マグネットにおける曲率半径チェック工程を備えることを特徴とするイオン注入装置における注入条件異常検出方法。
IPC (4件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, H01J 37/05
, H01L 21/265
