特許

J-GLOBAL ID：200903009065912433

ラップ盤及びその制御法並びにラップ盤用ワーク搬出入装置

発明者： 斉藤 郁也
出願人/特許権者： サティス・エンジニアリング株式会社 ,  株式会社 新和技研
代理人 (1件)： 羽鳥 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-375902
公開番号（公開出願番号）：特開2002-184725
出願日： 2000年12月11日
公開日（公表日）： 2002年06月28日
要約：

【要約】【目的】 遊星歯車式のラップ盤における加工前、加工後のワークの交換を効率よく適正に行えるようにする。【構成】 ラップ盤の内歯車6の周壁にキャリヤ4を出し入れし得る通用口7を設け、その通用口7を分割駒6Bにて開閉自在と成す。そして、キャリヤ4を出し入れするとき、通用口7にガイド板22を導入し、その上でキャリヤ4を滑走させる。このため、キャリヤの開口部4Aに収容された多数のワークWを脱落させる事なくキャリヤ4ごと一度に出し入れすることができる。

請求項（抜粋）：

ワークを収容するための開口部をもつキャリヤを太陽歯車と内歯車との間に配置し、前記キャリヤの開口部に収容されたワークを上下に相対向して設けられる上定盤と下定盤とで挟みながらラッピングするラップ盤において、前記内歯車の周壁の部位に、前記キャリヤを下定盤の上面に沿う水平状にして通過させ得る開閉自在な通用口が形成されていることを特徴とするラップ盤。

IPC (3件)：

H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 622 ,  B24B 37/04

FI (4件)：

H01L 21/304 621 A ,  H01L 21/304 622 L ,  B24B 37/04 Z ,  B24B 37/04 F

Fターム (10件)：

3C058AA09 ,  3C058AB03 ,  3C058AB04 ,  3C058AB06 ,  3C058CB03 ,  3C058CB04 ,  3C058DA06 ,  3C058DA09 ,  3C058DA17 ,  3C058DA18