特許
J-GLOBAL ID：200903009071190709
湿度センサ素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高石 橘馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-223480
公開番号（公開出願番号）：特開平6-050923
出願日： 1992年07月30日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【構成】 200°C以上の高温において常時作動され、セラミック基板上に、第一の薄膜状電極と、薄膜状感湿体と、第二の薄膜状電極とが順次積層された構造を有する湿度センサ素子において、前記第二の薄膜状電極がメッシュ状であることを特徴とする湿度センサ素子。【効果】 薄膜状感湿体の上にメッシュ状の電極を形成した構造を有するので、水分が感湿体へ到達しやすく、水分吸着量の少ない200°C以上の高温状態においても良好な湿度検出感度が得られる。
請求項（抜粋）：
200°C以上の高温において常時作動され、セラミック基板上に、第一の薄膜状電極と、薄膜状感湿体と、第二の薄膜状電極とが順次積層された構造を有する湿度センサ素子において、前記第二の薄膜状電極がメッシュ状であることを特徴とする湿度センサ素子。
IPC (2件)：
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