特許
J-GLOBAL ID:200903009078024561
画像同期測定方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
清水 守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-053239
公開番号(公開出願番号):特開2003-254900
出願日: 2002年02月28日
公開日(公表日): 2003年09月10日
要約:
【要約】【課題】 各画素において最初のみ初期値として直流成分IR を測定し、後は演算用の初期値として初期位相δと直流成分IR を交互に用いることにより、90°位相の異なる2つの画像による時間変化に追従することができる画像同期測定方法を提供する。【解決手段】 コヒーレンス長が数十μmの低コヒーレンス光源1からの光波は、第1のレンズ2で集光されてビームスプリッター3を経て、試料4に照射される。このとき、試料4面に光源が結像するようにする。また、ビームスプリッター3からの反射光は、参照ミラー5に集光され、同様に参照ミラー5に結像するようにセットする。参照ミラー5と試料4からの信号光は、再度ビームスプリッター3で合波されて第2のレンズ8を介してイメージセンサ9に入射される。イメージセンサ9により干渉画像がコンピュータ10にとりこまれる。そこで、最初のみ初期値として直流成分IR を測定し、後は演算用の初期値として初期位相δと直流成分IR を交互に用いることにより、90°位相の異なる2つの画像による時間変化に追従させる。
請求項(抜粋):
各画素において最初のみ初期値として直流成分IR を測定し、後は演算用の初期値として初期位相δと直流成分IR を交互に用いることにより、90°位相の異なる2つの画像による時間変化に追従させることを特徴とする画像同期測定方法。
Fターム (12件):
2G059AA05
, 2G059BB12
, 2G059CC16
, 2G059EE02
, 2G059EE09
, 2G059GG00
, 2G059JJ11
, 2G059JJ15
, 2G059JJ22
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G059MM03
引用特許:
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