特許

J-GLOBAL ID：200903009086142808

放射線検出器

発明者： 宮口 和久 ,  村木 哲彦
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-230058
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077460
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】 X線等の高エネルギー粒子線を検出するための高速動作可能なFT型CCD、または、FFT型CCDによる放射線検出器を提供する。【構成】 このFT型CCDは光電変換部1、蓄積部2、出力部3からなる。単位画素11当たり平行に4つ並んで配設された電極によって垂直シフトレジスタが形成されている。この垂直シフトレジスタが光電変換部1と蓄積部2とを構成する。電極は電極の長手方向と平行に多数本配設され、この長手方向と垂直シフトレジスタの構成方向とは直交する関係にある。各電極には4相の電圧(P1〜P4)が加えられ、垂直シフトレジスタを制御する。出力部3は水平シフトレジスタとアンプ部31により構成されている。光電変換部1の表面部には、多結晶シリコンと金属シリサイドの2層構造を有する電極が配設され、光電変換部1は、この電極を透過したX線を検出する。

請求項（抜粋）：

フレーム転送型、または、フル・フレーム転送型のいずれか一方のCCDを備えた放射線検出器であって、前記CCDの光電変換部の転送電極の形成材料として、金属、または、金属シリサイドが使用され、前記光電変換部の表面より入射した高エネルギー粒子線を検出することを特徴とする放射線検出器。

IPC (4件)：

H01L 27/148 ,  G01T 1/24 ,  H04N 5/32 ,  H04N 5/335

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-230600
  
• 特開平4-234172
  
• 特開昭63-120463
  
• 特開平4-065873