特許
J-GLOBAL ID：200903009093685779
エッチング方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
笹岡 茂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-151102
公開番号（公開出願番号）：特開平8-325753
出願日： 1995年05月26日
公開日（公表日）： 1996年12月10日
要約：
【要約】【目的】 エッチングの過程でエッチング状態を監視しつつ高精度でエッチング終点を検出してエッチングを終了するエッチング方法及び装置を提供する。【構成】 4は金属積層膜構造の上層膜と該上層膜の直下の下層膜の少なくとも一方の膜の反射率が分光特性を有する金属積層膜のエッチング基板であり、光源1は前記上層膜と下層膜の分光反射率が異なる特定波長光を前記金属積層膜に照射し、受光部6は金属積層膜からの反射光を受光し、反射光の強さを信号に変換し、反射率検出機7は該受光部からの信号を入力し、前記特定波長光の反射率を検出し、該反射率が前記上層膜のエッチング中の反射率から変化して一定値になったときエッチング終点信号を出力し、液供給ユニット9は反射率検出機7に接続され、エッチング終点信号を受けたとき薬液タンク10前記金属積層膜への薬液タンク10からのエッチング液の供給を停止制御する。
請求項（抜粋）：
金属積層膜構造の上層膜と該上層膜の直下の下層膜の少なくとも一方の膜の反射率が分光特性を有する金属積層膜のエッチング方法であって、前記上層膜のエッチング過程において、前記上層膜と下層膜の分光反射率が異なる特定波長光を前記に金属積層膜に照射し、金属積層膜からの反射光を受光して前記特定波長光の反射率を検出し、該反射率が前記上層膜のエッチング中の反射率から変化して一定値になったときをエッチング終点とし、該エッチング終点に達したのち前記上層膜のエッチングを終了することを特徴とするエッチング方法。
IPC (4件)：
C23F 1/00
, C23F 4/00
, H01L 21/306
, H05K 3/06
C23F 1/00 A
, C23F 4/00 F
, H05K 3/06 D
, H01L 21/306 U
