特許
J-GLOBAL ID：200903009097755933
プローブカードおよびウエハプローブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-098605
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295341
出願日： 1998年04月10日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：
【要約】【課題】 隣り合うパッド間の距離が150μm以下のものについてもその電気的特性の測定が可能なプローブカードの提供が望まれている。【解決手段】 チップTの電気的特性を測定する測定装置によって半導体ウエハ中の被測定チップの電気的特性を測定する際に、用いられるプローブカード11である。基板4と、この基板4に設けられ穴13...を有した針保持部材12と、一部を穴13の外に突出させた状態で穴13内にスプリング8を介して設けられた針14とを備えてなる。穴13...が千鳥状に配列され、これら穴13...内に設けられた針14の穴外に突出した先端側14aが折曲されてその先端14bが被測定チップTのパッドPの配置に対応するよう直線状に配列されている。針14が半導体ウエハW中の被測定チップTのパッドPに機械的に接触し電気的に導通することにより、測定装置からパッドへの電気信号の入出力が可能になっている。
請求項（抜粋）：
チップの電気的特性を測定する測定装置によって半導体ウエハ中の被測定チップの電気的特性を測定する際に、該測定装置に接続されて用いられるプローブカードであって、基板と、この基板の下面に設けられ下側に開口した複数の穴を有してなる針保持部材と、一部を該針保持部材の穴の外に突出させた状態で該穴内に付勢部材を介して該穴の深さ方向に進退可能に設けられた針とを備え、前記針保持部材の穴が千鳥状に配列されてなるとともに、これら穴内に設けられた針の穴外に突出した先端側が折曲されてその先端が前記被測定チップのパッドの配置に対応するよう直線状に配列されてなり、該針が半導体ウエハ中の被測定チップのパッドに機械的に接触し電気的に導通することにより、前記測定装置からパッドへの電気信号の入出力が可能になるよう構成されてなることを特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
